Cкоростное Ионно-Плазменное Вакуумное Магнетронное Распыление — СИПМР


Основные характеристики скоростного ионно-плазменного вакуумного магнетронного распыления:
  • Энергетическая цена атома, испаряемого с поверхности металла при работе магнетрона составляет от 250 до 1500 эВ/ат, причем на 1 атом аргона с Е = 500 эВ выбивается 0,6-0,7 атомов титана. Это несколько хуже, чем при дуговом распылении, но при удельной мощности > 40 Вт/см2 происходит дополнительное испарение и сублимация материала, что снижает энергетическую цену испаряемых атомов.
  • СИПМР является экологически чистой технологией нанесения покрытий, отличающейся высокими плотностями мощности плазменного разряда (ПМ) от 40 до 500 Bт/см2 и соответственно высокими скоростями напыления пленок (от 10 до 100 мкм/час и более), что открывает новые возможности экологически безопасных физических методов осаждения материалов.
СИПМР — технология имеет следующие преимущества по сравнению с существующими методами нанесения покрытий:
  • напыление материалов любого типа: проводники, полупроводники, углеродосодержащие и керамические материалы;
  • широкий интервал скоростей напыления: 0,1-100 мкм/час и выше;
  • высокое качество и однородность покрытий, в том числе, многокомпонентных и многослойных, как по составу, так и по слоям;
  • равноскоростное распыление разнородных материалов из одной мишени мозаичного типа;
  • высокая точность конструирования состава мозаичных мишеней и наносимых покрытий;
  • низкая себестоимость процесса и получения мишеней;
  • полная экологическая безопасность (отсутствие: жидких стоков, газообразных выбросов, транспортировки и хранения ядовитых реагентов).
СИПМР — технология, как технология безопасная для человека и окружающей среды, является естественным заменителем экологически вредных химических и электрохимических методов нанесения покрытий; при этом она обеспечивает при сопоставимой производительности и себестоимости более высокое качество покрытий и исключительно широкую номенклатуру напыляемых материалов, соединений и композитов, которые не могут быть получены химическими методами.