Магнетроны

Магнетроны
Инакотек предлагает скоростные ионно-плазменные распылительные системы магнетронного типа (CИПМРС) с тремя типами катодов: круглые, прямоугольные, трубчатые.
Основные параметрыТипоразмер рабочей камеры: высота (мм)/количество магнетронов (шт)
600/41000/6
Электрическая мощность, кВт60180
Высота рабочей зоны нанесения слоя покрытия, мм400850
Максимальный диаметр планетарной карусели, мм650850
Грузоподъемность карусели, кгДо 150До 350
Плотность мощности разряда магнетрона, Вт/см2До 500До 300
Скорость нанесения слоя покрытия, мкм/чДо 150До 80
Производительность по площади покрытия, дм2160-480450-1350

Отличительной особенностью этих систем является:

  • Прямое интенсивное охлаждение распыляемой мишени, что позволяет достигать высоких плотностей мощностей разряда до 103 Вт/см2;
  • Сильное сбалансированное магнитное поле, что позволяет достичь высокой концентрации плазмы;
  • Простота конструкции и удобство в сборке и эксплуатации;
  • Возможность распыления мозаичных мишеней из различных материалов с одинаковой скоростью.