Импланторы

  • Уникальной разработкой "ИНАКОТЕК ЦЕНТР" является оборудование для ионно-лучевой обработки материалов в вакууме.
  • Установки ионной имплантации широко применяются в производстве микроэлектроники уже более 50 лет, но для задач машиностроения они только в настоящее время начинают находить применение.
  • Применение ионно-лучевых технологий разрабатываемых в "Инакотек" позволило упрочнить и повысить усталостную прочность компрессорных лопаток авиационного двигателя. Для этой цели применялся имплантор серии Вита.
  • Участок на базе этих импланторов создан в уфимском моторостроительном объединении и в настоящее время находится в эксплуатации.
  • Импланторы серии Сокол в настоящее время широко применяются в научных исследованиях и производстве.
Основные результаты, достигнутые с этими устройствами приведены ниже:

Имплантор «Сокол»
  • Повышение стойкости и скорости резанья в 3 раза фрез для обработки титановых материалов по заказу ОАО "НПО Сатурн" г. Рыбинск.
  • Создание покрытия с высокой поверхностной электрической емкостью и низкой остаточной поляризацией для электродов электрокардиостимуляторов, по заказу ЗАО"Кардиоэлектроника" г. Климовск, Моск. Обл.
  • Разработана новая серия покрытий низкого сухого трения, МГТУ МИСИС г. Москва.
  • Разработана технология повышения стойкости нитридных покрытий на резцовый инструмент. МГТУ СТАНКИН г, Москва, Университет им. Отто фон Герике. г. Магдебург, Германия
  • Получено значительное (боле чем в два раза) повышение стойкости твердосплавных пластин для обточки реборд вагонных железнодорожных колес. Завод им. Войтовича. Г.Москва. Матриц и пуансонов для штамповки гильз, завод "Штамп" г. Тула.

Имплантор «Вита»


Основные параметры предлагаемых импланторов приведены в таблице:

Наименование имплантораВитаСокол 20/50Сокол 50/50Сокол 30\100Сокол Универсал
Параметры12345
Максимальная энергия однозарядных ионов, кэВ5050503050
Максимальный средний ток, мА302050100100
Тип ионного источникаСтационарный газовый (типа источника Фримана)Импульсно-дуговой (типа источника Брауна)-ИДИДИДИД
Максимальный имп. ток, А351010
ИоныГазов, легкоплавких металлов и др. металловИоны тугоплавких и среднеплавких металлов (ИТСМ)ИТСМИТСМИТСМ и ионы газов
Макс. скорость набора дозы имплантации ион/с см2х10145251010
ПрименениеИонная имплантация (ИИ)ИИ + ассистирование (IBAD)ИИ + IBADСИИ + IBADИИ + IBAD