Дуговые испарители

  • Дуговые испарители предназначены для нанесения покрытий в вакууме на различные детали и изделия.
  • Работа дуговых источников основана на вакуумном дуговом разряде с интегрально "холодным" катодом, горящем исключительно в парах материала катода.
  • При зажигании вакуумной дуги, происходит контракция на мишени катода с образованием катодного пятна, из которого выходит пар испаряемого материала, ионизирующийся в электрическом поле вблизи катода.
  • Образующаяся при этом плазма практически полностью ионизирована и состоит из многозарядных ионов и капельной фазы материала мишени, доля которой у легкоплавких металлов составляет ~10%, а у тугоплавких металлов ~1%.
  • Средняя энергия генерируемых ионов высока и достигает для различных материалов 40…100эВ, а степень ионизации вещества катода 50%…90%
  • Классический дуговой испаритель (ДИ) состоит из следующих основных частей: