Установка ВУ-1БС

Установка серии «ВУ-1БС»:


Основные характеристики:
  • объем рабочей камеры — 150 л;
  • число дуговых испарителей — 3 шт;
  • диаметр катода-испарителя — 60 мм;
  • максимальная загрузка — 40 кг;
  • число позиций размещения осевых деталей — 12 шт.;
  • скорость осаждения покрытия на осях вращения — до 10 мкм/ч.

Установки комплектуются по требованию Заказчика:
  • системами двойного дугового разряда,
  • импланторами для ионного ассистирования;
  • системами нагрева электронной бомбардировкой,
  • сепараторами капельной фазы,
  • электронными ключами для гашения дуг,
  • компьютерными системами управления процессами и т.д.

Предприятие "Инакотек" предлагает комплекс работ по внедрению дуговых вакуумных технологий в производство:
  • изготовление дуговых испарителей и других модулей под конкретные задачи;
  • изготовление оборудования под конкретные задачи;
  • реновация имеющегося оборудования;
разработка производственных технологий создания покрытий.