Установка CИПМРС

Установка CИПМРС (Скоростные Ионно-Плазменные Магнетронные Распылительные Системы)

  • В конструкции напылительного устройства установки предложены к использованию скоростные ионно-плазменные распылительные системы магнетронного типа (CИПМРС), генерирующие плазменный разряд с плотностью мощности 40-500 Вт/см2 и выше, что позволяет при много катодной схеме, состоящей из 2-8 катодов, повысить производительность процесса нанесения покрытия до 10-100 мкм/ч.
  • На базе CИПМРС наиболее эффективна схема нанесения покрытий — замкнутый паровой котел с циркуляцией плазменного потока.
  • Схема собирается из 2-х, 3-х, 4-х,…8-ми протяженных CИПМРС.
  • Внутри котла перед мишенями и ионным источником располагается многопозиционная планетарная карусель, где размещаются кассеты с изделиями, на которые наносится покрытие.


Схема внутрикамерного устройства:

С использованием CИПМРС можно наносить следующие материалы покрытий: металлы и сплавы, химические соединения, композиты, псевдосплавы.

Материалы покрываемых деталей: металлы и сплавы, керамика, стекло, пластики.

Рабочие параметры процесса с использованием CИПМРС:
  • Предварительный вакуум: P>10-3 Па;
  • Рабочий вакуум: Р=1-0,01 Па;
  • Рабочий газ: Ar, P= 1-0,01 Па;
  • Реакционные газы: O2, N2, C2H2, H2
  • Напряжение старта: U = 800-1000В;
  • Рабочее напряжение: U = 350-700В;
  • Плотность мощности разряда:1-1000 Вт/см2;
  • Дистанция нанесения: > 5 мм.

Области использования CИПМРС:
  • Нанесение покрытий для машиностроительной продукции, где необходимо использование защитных функциональных слоев толщиной от 5 до 150 мкм.
  • Нанесение специальных покрытий, в том числе с аморфной и нанокристаллической структурой. Создание покрытий и новых типов материалов с универсальными свойствами на основе новых типов структур: многослойные и наноструктурированные.