Установка для научных исследований

Установка для научных исследований сконструированая для МГТУ МИСИС.

В установке применяется комбинация нескольких методов нанесения покрытий. Для получения более высокой ионизации плазмы внутри рабочей зоны установки применяются как сбалансированные, так и несбалансированные магнетроны. Повышение ионизации позволяет более эффективно управлять процессом осаждения пленок и подачей потенциала смещения на подложку.

Фотография внутрикамерного устройства лабораторной установки: